洁净层流罩
洁净层流罩是将操作员与产品屏蔽隔离的净化设备,能有效避免产品污染。从洁净室吸取的空气,采用顶部增压舱里安装的风扇通过HEPA过滤垂直穿过操作区域,为关键区域提供ISO 5(级别100)的单向流空气。废气从下面排出,返回洁净室区域。
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